УДК 621.793.162, 621.91, 621.9.02
Нанесение равномерного нанокристаллического алмазного покрытия на подложку из карбида вольфрама с высоким аспектным отношением в микроволновом плазменном реакторе
Е. Е. Ашкинази 1, С. В. Федоров2, А. К. Мартьянов1, А. П. Литвинов2, К. Ф. Сергейчев1, М. Ю. Шевченко3, С. Н. Григорьев2, В. И. Конов1
1 Институт общей физики им. А.М. Прохорова РАН, 119991 Москва, ул. Вавилова, 38
2 Московский государственный технологический университет “СТАНКИН”,
127055 Москва, Вадковский пер., 3А
E-mail: sv.fedorov@icloud.com
3 2dot4 Diamonds, LLC, Plot Number TPO 10219, National Industries Park, Dubai
E-mail: xpohoc@gmail.com
Поступила в редакцию 10 декабря 2025 г., окончательный вариант — 5 февраля 2026 г., принята к публикации 2 марта 2026 г.
Методом конечных элементов в среде COMSOL Multiphysics исследовали трехмерную модель распределения электромагнитного поля на макете реактора плазмохимической установки, соответствующего СВЧ реактору ARDIS 100, в упрощенной геометрии. Показано, что равномерность нагрева как цилиндрического периметра, так и торцевой части подложки, может быть достигнута помощью СВЧ плазменного разряда, инициированного концентратором поля и сферическим плазменным контуром, сформированного обтекающим запредельный волновод микроволновым полем, что и реализовано на опытно-промышленном оборудовании. Равномерность нанесенного нанокристаллического алмазного покрытия из смесей газов CH4/H2 и CH4/H2/N2 на твердосплавные подложки из карбида вольфрама с 6 % Co с аспектным отношением L/d = 75 мм/12 мм подтверждена методами растровой электронной микроскопии, рентгенофлуоресцентным анализом и спектроскопией комбинационного рассеяния. Полученные данные о размерах зерен и интенсивностях дифракционных пиков, соответствующих фазам алмаза и упорядоченного графита, демонстрируют равномерность покрытия по толщине, которую контролировали по двум измерениям цилиндрического тела подложки. Отмечено, что в структуре исследуемого покрытия присутствовали глобулы алмаза размером от 320 до 770 нм.
Ключевые слова: алмазное покрытие, микроволновая плазма, MPCVD, краевой эффект, микро-нанокристаллическая пленка, инициированный разряд.
DOI: 10.30791/0015-3214-2026-2-29-40