УДК 669.7.018
Многоэлементное поверхностное легирование титана марки ВТ1-0: структура и свойства
Ю. Ф. Иванов, О. С. Толкачев, Е. А. Петрикова, Н. А. Прокопенко,
О. В. Крысина, Ю. Х. Ахмадеев, Н. Н. Коваль
Институт сильноточной электроники СО РАН,
634055 Томск, пр-т Академический, 2/3
E-mail: yufi55@mail.ru; ole.ts@mail.ru; elizmarkova@yahoo.com; nick08_phantom@mail.ru;
krysina@opee.hcei.tsc.ru; ahmadeev@opee.hcei.tsc.ru; koval@opee.hcei.tsc.ru
Поступила в редакцию 7 октября 2024 г., окончательный вариант — 21 ноября 2024 г., принята к публикации 26 ноября 2024 г.
Представлен анализ результатов исследования структуры и свойств технически чистого титана марки ВТ1-0, подвергнутого поверхностному легированию облучением системы “пленка – подложка” импульсным электронным пучком. На поверхности образцов титана вакуумно-дуговым плазменно-ассистированным методом были сформированы многоэлементные пленки состава 25,7 ат. % Ti – 17,0 ат. % Al – 21,9 ат. % Nb – 22,3 ат. % Zr – 13,1 ат. % Cu и толщиной 2,5 – 3 мкм, обладающие многослойным строением и аморфно-кристалличностью. Поверхностное легирование образцов титана осуществляли облучением системы “пленка (TiNbAlZrCu) – (ВТ1-0) подложка” интенсивным импульсным электронным пучком (плотность энергии пучка электронов — 20 Дж/см2, время — 50 мкс, количество импульсов — 3 и 30, длительность импульса — 0,3 с–1, давление остаточного газа Ar в камере установки — 0,02 Па). Показано, что облучение системы “пленка – подложка” тремя импульсами воздействия пучка электронов сопровождается формированием многоэлементного (Ti, Al, Cu, Zr, Nb), многофазного (TiNbAlZrCu, β-Ti, Cu, α-Ti) субмикро- нанокристаллического поверхностного слоя. Выявлено кратное увеличение микротвердости поверхностного слоя титана марки ВТ1-0 как после формирования на поверхности пленки состава Ti – Al – Cu – Zr – Nb, близкого к эквиатомному, так и после облучения системы “пленка – подложка” импульсным электронным пучком. Установлено, что напыление пленки приводит к многократному (более чем в 13 раз) увеличению износостойкости системы “пленка – подложка”, а последующее облучение с целью формирования легированного поверхностного слоя сопровождается снижением износостойкости образцов.
Ключевые слова: титан, поверхностный сплав, система “пленка – подложка”, вакуумно-дуговой плазменно-ассистированный метод, импульсный электронный пучок, структура, свойства.
DOI: 10.30791/0015-3214-2025-2-28-36